Semiconductor Industry Association (SIA) rappresenta il 90 per cento dei prodotti semiconduttori prodotti negli Stati Uniti. L'industria dei semiconduttori multimiliardario vende milioni di microchip piccolo computer, che vengono creati con gli elettrodi del plasma. Tipi di elettrodi al plasma sono: accoppiato ad induzione, forno a microonde o onde radio elettrodi. Elettrodi del plasma nella parte inferiore degli alberi di fornace, raggiungere temperature superiori a 6.000 gradi centigradi. Elettrodi al plasma vaporizzano metallo, quali rame cappotti o silicone formando semiconduttori.
Scarica elettrica Plasma elettrodi
Elettrodi del plasma di rilascio corrente elettrica attraverso una sostanza che non conduce elettricità. Aria isola. Non conduce elettricità, ma un campo elettrico più di mille volt attraversato normalmente isolanti aria, crea azoto, ossigeno e altri ioni gassosi. L'elettrodo del plasma provoca elettroni negativamente caricati a rompere gli atomi di azoto o ossigeno e lascia gli ioni positivamente caricati. Gli ioni e gli elettroni (plasma) spostare separatamente attraverso l'alta tensione, creando una corrente elettrica. Al plasma conduce corrente elettrica.
Vaccuum arco Plasma elettrodi
Scariche elettriche ad arco sottovuoto utilizzano rivestimenti al plasma in metallurgia e come film di plasma. Gli archi vuoto sono da elettrodi accoppiati ad alta tensione in una camera a vuoto. L'arco elettrico trasporta il plasma ionizzato e dirige l'arco magnetico per rivestire una superficie di microchip. L'arco può essere diretto con un campo magnetico. Rivestimento di microchip con un arco di plasma caricato è un processo chiamato "deposizione ad arco sottovuoto." Metallo liquido spruzzi spray dalla superficie di elettrodi, che toglie la qualità del rivestimento al plasma sottile. Le goccioline incoerenti vengono rimossi dal fascio plasma ostruendo il flusso dell'arco plasma tra l'elettrodo e la superficie del semiconduttore. Questo processo è chiamato "filtrata deposizione ad arco sottovuoto".
Corona e gli elettrodi di scarico di incandescenza
La scarica elettrica corona è una parziale scarica elettrica non omogenea. Scarica elettrica corona viene creato da un campo elettrico ad alta tensione vicino un elettrodo tagliente. Corona è uno scarico di bassa corrente, ad alta tensione. Bagliore gli scarichi sono alcune centinaia di volt e 1 ampere di corrente. La bassa corrente ionizzata è amplificata in collisione con altre particelle. L'amplificazione crea elettroni secondari. Scariche elettriche vengono inoltre create dalle onde forno a microonde o laser con o senza elettrodi.
Elettrodi capacitivamente Coupled Plasma (CCP)
Un elettrodo plasma capacitivamente accoppiato (CCP) è in realtà due elettrodi del plasma con poca distanza tra loro all'interno di un reattore. Pressione da gas all'interno del reattore può essere inferiore alla pressione dell'atmosfera. Un elettrodo CCP dirige le onde radio, di solito a 13,56 MHz. Un elettrodo del plasma è collegato all'alimentazione elettrica, e l'altro è l'elettrodo di terra. Gli elettrodi CCP sono collegati in parallelo, e formato in questo modo il plasma è plasma capacitivamente accoppiato. Plasma capacitivamente accoppiato a volte produce luce durante la generazione di plasma con un condensatore. Elettroni bombardando un elettrodo rapidamente diventano caricati negativamente, e creano secondario al plasma corrente oltre a corrente alternata. Un elettrodo di corrente eccita gli elettroni e gli ioni di carica. Questo microprocess deposita una pellicola sottile del plasma su un elettrodo. Semiconduttori da CCP possono essere inciso.